ソリューション
電気・電子・半導体
液封式真空ポンプは、産業のコメと呼ばれ情報化社会に欠かせない半導体の製造においてウェハーダイシング工程のチャッキング用として採用されています。また、微小なごみも許されない半導体ウェハーや液晶の洗浄用水である純水・超純水の製造装置脱気用として使用されています。
用途例
- 純水装置 脱気
- 半導体ダイサー チャッキング
- 炭化水素系超音波洗浄機 洗浄・乾燥
ソリューション
液封式真空ポンプは、産業のコメと呼ばれ情報化社会に欠かせない半導体の製造においてウェハーダイシング工程のチャッキング用として採用されています。また、微小なごみも許されない半導体ウェハーや液晶の洗浄用水である純水・超純水の製造装置脱気用として使用されています。
