ソリューション
電気・電子・半導体
液封式真空ポンプは、産業のコメと呼ばれ情報化社会に欠かせない半導体の製造においてウェハーダイシング工程のチャッキング用として採用されています。また、微小なごみも許されない半導体ウェハーや液晶の洗浄用水である純水・超純水の製造装置脱気用として使用されています。
用途例
- 純水装置 脱気
- 半導体ダイサー チャッキング
- 炭化水素系超音波洗浄機 洗浄・乾燥
関連製品
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VD型
電動機と一体型になった汎用真空ポンプです。従来のカップリング部分を省くことにより、大幅なコンパクト化を実現。様々な機器への組み込みが可能になりました。
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VZ型
優れたユーティリティ性と耐久性を兼ね備えた汎用真空ポンプです。構造を見直し、部品点数の削減により質量低減と縮小化を実現。広く一般産業用として使用可能です。
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V型
特殊な耐食材料やメカニカルシールに対応するオールマイティな真空ポンプです。石油化学工業、医薬など生産設備の真空源として豊富な実績を有しています。
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VM・VMW型
1台のポンプに直列に2つの羽根車が組み込まれた2段式のため、蒸溜・濃縮・重合用途など高真空域でも良好な性能が得られる真空ポンプです。
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