液封式真空ポンプ25℃30℃℃52℃03変化率℃1最低使用圧力3468変化率℃最低℃02使用圧力 3468 ℃54℃04℃53℃04℃53℃05℃05℃54131320302030406080100406080100■VM型の吸込量変化率曲線■VMW型（2段式）の吸込量変化率曲線 20℃1.2性-技術資料-03.ai1.11.00.90.80.7（K）0.60.50.40.30.21.31.2封水温度1.115℃17℃1.00.90.8（K）0.70.60.50.40.3封水温度15℃7℃10吸込圧力（kPa abs）10吸込圧力（kPa abs）
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