液封式真空ポンプ25 ℃30℃℃52℃03変化率℃1最低使用圧力3468変化率℃最低℃02使用圧力 3468 ℃54℃04℃53℃04℃53℃05℃05℃541313■ VM 型の吸込量変化率曲線■ VMW 型（2 段式）の吸込量変化率曲線 20302030406080 100406080 1002 0 ℃1.2性-技術資料-03.ai1.11.00.90.80.7（K）0.60.50.40.30.21.31.2封水温度1.115℃1 7 ℃1.00.90.8（K）0.70.60.50.40.3封水温度15℃7 ℃10吸込圧力（kPa abs）10吸込圧力（kPa abs）
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