変化 率1圧力3468変化 率1用圧力346825℃30℃ （K）℃05℃54℃04℃53 （K）30℃℃05℃54℃0435℃液封式真空ポンプ最低使用最低使1.21.11.00.90.80.70.60.50.40.30.21.31.21.11.00.90.80.70.60.50.40.320302030406080100406080100封水温度13℃15℃7℃20℃25℃封水温度13℃15℃7℃20℃10吸込圧力（kPa abs）10吸込圧力（kPa abs）■VM型の吸込量変化率曲線■VMW型（2段式）の吸込量変化率曲線性-技術資料-03.ai
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