10.2吸込量35765241342液封式真空ポンプ67‒‒根切123451005010（m /min）0.30.4吐出圧力（MPa Gauge）0.50.60.7■製作領域■構造断面図品名・材質表品番品 名標 準SCS13SCS13SCS13SCS13ケーシングサイドカバー車羽板仕主軸SUS420J2材 質準標準SCS14SCS14SCS14SCS14SUS420J2吸込量 －100m3/min吐出し圧力 －0.7MPa(G)広い性能領域品番品 名メカニカルシールラビリンスシールOリング液状パッキンTB1215/TB1207B材 質標 準SiC/CCAC準標準SiC/CCACFKM/NBRFKM/NBRTB1215/TB1207Bko-EC型.ai
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