液封式真空ポンプ10.2吸込量3■製作領域■構造断面図品名・材質表準標準品番品 名標 準ケ ー シ ン グSCS13サ イ ド カ バ ーSCS13SCS13SCS13SUS420J2材 質SCS14SCS14SCS14SCS14SUS420J2品番品 名メカニカルシールラビリンスシールO リ ン グ液 状 パ ッ キ ンTB1215/TB1207B材 質標 準SiC/CSiC/CCACCACFKM/NBRFKM/NBRTB1215/TB1207B 576524134267‒‒ 12345羽仕主根切車板軸吸込量 －100m3/min吐出し圧力 －0.7MPa(G)広い性能領域 0.50.60.71005010（m /min）0.30.4ko-EC型.ai吐出圧力（MPa Gauge）準標準
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