①⑥③④②⑤動72514637主軸Hmm1900210022502600Wmm2400240028003000Lmm2900315034004300123456液封式真空ポンプ車板板根切切羽仕仕456123■機器構成と外形寸法■構造断面図（例）寸法・質量表機器構成品番品名・材質表品番品 名液封式真空ポンプ 電機セパレータタンク封液冷却器封液循環ポンプガスエゼクタ品 名材 質FC200FC200FC200ケーシングサイドカバーサイドカバーパッケージ型式150VFF175VFF200VFF250VFF品番品 名材 質FCD500FC250FC250品番乾燥質量kg40004700710010000運転質量kg43005000760010800品 名材 質SUS420J2ko-VFF-01.ai
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