③⑤①④②動371589264Hmm15002250265023502550Wmm11001700190022002300Lmm2500330047005800680012345液封式真空ポンプ板板軸切切仕仕主91011車車板板根根切切羽羽仕仕56781234■機器構成と外形寸法■構造断面図（例）寸法・質量表機器構成品番品名・材質表品番品 名液封式真空ポンプ 電機セパレータタンク封液冷却器封液循環ポンプ品 名材 質FC200FC200FC200FC200ケーシングケーシングサイドカバーサイドカバーパッケージ型式65VMAF125VMAF150VMAF200VMAF250VMAF品番品 名材 質SCS13SCS13FC250FC250品番乾燥質量kg82021004400800010700運転質量kg90023005000890012000品 名材 質FC250FC250SUS420J2（S45C）1110ko-VMAF-01.ai
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