液封式真空ポンプ吸込量 （m /min）3 7654321 50VM45.540VM45.540VM43.732VM22.232VM21.5■ 50Hz 性能曲線 （封水温度 15℃の場合）3040506070800.90.80.70.60.50.40.30.20.120性-VM-01(50HZ).ai吸込圧力（kPa abs） 50Hz
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